(1)ESD控制的基本原则
做好ESD防护设计:器件选型、合理布线、设计保护电路等
消除和减少静电的产生:减少或消除静电产生的过程、维持过程和材料处于等电势等
使静电荷泻放与中和:使用静电导体、接地、电离器来泻放与中和静电
保护产品免遭ESD伤害:使用防静电材料包装和储运
(2)防静电区设计原则
抑制静电荷的积累和静电压的产生。如设备、仪器、工装不使用塑料、有机玻璃、普通塑料袋。
安全、迅速、有效地消除已产生的静电荷,使 用有绳防静电腕带、防静电椅、防静电周转车、防静电周转箱。
保证静电压小于100V。
(3)防静电系统要素
1.地面 防静电地面(防静电水磨石,防静电地板)体电阻10 5 ~10 9 Ω,敷设地线网。
2.工位
3.接地
a、防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置,地电阻小于4 Ω。
b、工作台面、地垫、坐椅和其它导静电的ESD保护设施均应通过限流电阻接入地线,腕带等应通过工作台顶面接地点与地线连接,工作台不可相互串联接地。 c、防静电工作区接地系统,包括限流电阻和连接端子应连接可靠并具有一定载流能力,限流电阻值选择应保证漏泄电流不超过5mA ,下限值取为1M Ω 。
4.温湿度 20~30℃,相对湿度30~70%。
5.增湿 增湿器使空气潮湿,防止静电荷积累,此法不适于增湿后会产生有害影响的场地。
6.电离器 不能有效地泄放静电荷的场合,可采用电离器通过空气中的正负离子来防止和中和元器件和其它物体上电荷 积累,电离能力大于 250V/s 。
7.人体 穿防静电工作服、工作鞋,戴有绳防静电腕带、手套、指套等。
8.包装 静电敏感器件应采取防静电保护性包装,如防静电袋、防静电盒等。
9.贮存、运输 静电敏感器件必须存放在防静电容器(箱、袋)内,并用防静电运输工具(箱、车)周转。贮运中要远离静电场、电磁场或放射场。