一 主旨∶测定无尘室之洁净度
二 目的∶为确保无尘室之环境品质及降低本公司管理成本,确保产品品质及提升经营效益。
三 说明∶
(一) 于每日下午至洁净室实施落尘之测定。
(二) 洁净室落尘之测定为使用微尘粒子计数计于地板高度约1.2-1.25M测试之,为避免人为干扰,取样时人员必须远离抽气口。除此之外,房间内如果产生乱流,很可能将取样人员身上的粒子吹进微粒计数器。因此取样时,无尘室内不应有人走动或是进出。
(三) 测定点数为100平方公尺为五点,每超过100平方公尺增加四点。
(四) 洁净度量测完毕之后,从微粒计数器得到的数据应配合量测点之位置列表显示。因此量测报告应包括两份数据,一是无尘室平面图,上有量测点之位置与编号,二是表列之数据。
(五) 而洁净度之测定,需依美国联邦209E规范为CLASS 1000之等级即表上为M4.5。
美国联邦 FED STD 209E
等级 等级极限
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
体积单位 体积单位 体积单位 体积单位 体积单位
公制 英制 m³ ft³ m³ ft³ m³ ft³ m³ ft³ m³ ft³
M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10 0.283 — —
M1.5 1 1240 35 265 7.5 106 3 35.3 1 — —
M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 — —
M2.5 10 12400 350 2650 75 1060 30 353 10 — —
M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 — —
M3.5 100 — — 26500 750 10600 300 3530 100 — —
M4 — — 75700 2140 30900 875 10000 283 — —
M4.5 1000 — — — — — — 35300 1000 247 7
M5 — — — — — — 100000 2830 618 17.5
M5.5 10000 — — — — — — 353000 10000 2470 70
M6 — — — — — — 1000000 28300 6180 175
M6.5 100000 — — — — — — 3530000 100000 24700 700
M7 — — — — — — 10000000 283000 61800 1750
(六) 微尘粒子数应每日定期量测以确实掌握环境品质,如遇数据异常可立即通知厂务处理。
(七) 微粒计数器每12个月应校正一次,使抽气速率与计数机构维持稳定,其激光头、反射镜等元件亦应常保清洁。