[求助]NPM-D3校正过程中，Z轴高度报错检测错误，求分析 [复制链接]

NPM-D3设备（8头）校正过程中，报警“高度检测错误”，固定在8号头：
（1）手动识别吸嘴，吸嘴位置在正中心
（2）检测真空和破坏值，参数正常
（3）拆头下来，对换流量SENSOR，吹气电磁阀，真空电磁阀，无效果
（4）手动拉SHAFT杆，杆活动顺畅，Holder上下灵活，无卡顿。
请各位大神帮忙分析下可能原因，谢谢！

补充说明下，在第二步校正Z轴高度时，无论整体校正还是单独校正，都校正NG，在后面那图标那可单独校正OK，求解！

电磁阀换了？
holder换了（卡nozzle holder那个）---可能密封不好  漏气
nozzle holder也换了   ？
nozzle holder上的金属过滤网换了？
过滤器换过没有？(flter) 外面金属的  里面有个过滤棉

用235CN 的吸嘴尝试下，  如果还是不行就用接料胶带在柱子上贴一层  我遇见过

单独做是OK的话，可以考虑一下是不是系统软件问题。