中芯回应ASML断供光刻机:EUV还在纸面上,一切正常

编辑:水晶钥匙 2019-11-08 11:32 阅读:316
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针对荷兰ASML公司延迟出货EUV光刻机的报道,中芯国际日前也作出了回应,称“极紫外光(EUV)还在纸面工作阶段,未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前,研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。” [ 转自SMT之家论坛 http://bbs.smthome.net ] "^)$MAZ  

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早些时候ASML也澄清称,关于日经新闻(NIKKEI)有关中芯国际相关报导有误,“延迟出货”仅为其媒体推测,ASML从未评论或确认,对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述,表示抗议。 pmiC|F83!8  

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ASML表示,对全球客户一视同仁。根据瓦圣纳协议,ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期,ASML已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准。 p#N2K{E  

[ 转自SMT之家论坛 http://bbs.smthome.net ] '#Q\p6G&_  

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据了解,中芯国际目前量产的最先进制程为14nm,12nm已经取得重大突破。而EUV光刻机主要用在7nm及以下制程。 C;YtMY:  

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阿斯麦公司之所以愿意探讨向中芯公司出售7纳米的光刻机,主要是因为阿斯麦公司5纳米光刻机已经成熟,台积电芯片加工企业已经开始优化调试5纳米的生产工艺流程了。而阿斯麦公司很快就会投产3纳米的光刻机。阿斯麦公司即便在1-2年后向中芯公司提供7纳米的光刻机,也是落后两代的产品。 &S[>*+}{+  

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