中芯回应ASML断供光刻机：EUV还在纸面上，一切正常

针对荷兰ASML公司延迟出货EUV光刻机的报道，中芯国际日前也作出了回应，称“极紫外光（EUV）还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。” [ 转自SMT之家论坛 http://bbs.smthome.net ] Bm:N@wg  

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早些时候ASML也澄清称，关于日经新闻（NIKKEI）有关中芯国际相关报导有误，“延迟出货”仅为其媒体推测，ASML从未评论或确认，对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述，表示抗议。 wU(N<9  

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ASML表示，对全球客户一视同仁。根据瓦圣纳协议，ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可（export license）。该出口许可于今年到期，ASML已经于到期前重新进行申请，目前正在等待荷兰政府核准。 1WJ%n;  

[ 转自SMT之家论坛 http://bbs.smthome.net ] Rf0F`D k  

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据了解，中芯国际目前量产的最先进制程为14nm，12nm已经取得重大突破。而EUV光刻机主要用在7nm及以下制程。 Wt $q{g{C  

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阿斯麦公司之所以愿意探讨向中芯公司出售7纳米的光刻机，主要是因为阿斯麦公司5纳米光刻机已经成熟，台积电等芯片加工企业已经开始优化调试5纳米的生产工艺流程了。而阿斯麦公司很快就会投产3纳米的光刻机。阿斯麦公司即便在1-2年后向中芯公司提供7纳米的光刻机，也是落后两代的产品。 Qu6Q)dZ<