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andyjoe:真空值报错确认以下:1,确认BASE的真空流量数值是否低于门槛值;若是建议检查BASE真空泵,必要时做保养耗材更换,料号:H5448D;2,若否,当报错的时候,分别拉出同BASE的各个模组,确认真空流量AMP读值是否低于门槛值;3,如果确定了是某一模组的问题,将模组拉出后手动移动X .. (2020-07-07 08:43)
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