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[求助]CM602 TBL3 TBL4 不定时的Y方向偏移 [复制链接]

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离线dajunchen
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2013-01-23
只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主  发表于: 2021-11-05
各位大侠：
          CM602 的TBL3 TBL4 会不定时的Y方向偏移，CPK是成功的，对换过识别相机还是没有解决，请问各位大侠是否遇到过这类问题？
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离线小白丶
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2016-06-08
只看该作者 沙发  发表于: 2021-11-07
驱动器 光栅尺  读码头 全都搞一遍看看
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离线jacky80218
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2006-06-25
只看该作者 藤椅  发表于: 2021-11-08
一般跟Y轴光栅定位有关。治具确认光栅定位值。
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离线2380499641
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2013-01-21
只看该作者 板凳  发表于: 2021-11-16
回 小白丶 的帖子
小白丶:驱动器 光栅尺  读码头 全都搞一遍看看 (2021-11-07 16:36) 

不可能跟驱动器有关系
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离线lz89
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2009-10-17
只看该作者 报纸  发表于: 2021-11-18
1.看下基板相机状态
2.观察下是不是在基板热补正时出现偏移
3.机台水平及设备精度确认
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离线13110655733
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2021-11-15
只看该作者 地板  发表于: 2021-11-19
这个检查下光栅定位跟读数头 一般就是这里的问题
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离线cole0229
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2010-06-24
只看该作者 地下室  发表于: 2021-11-29
看下光學尺和讀寫頭
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