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[讨论]对于这种工艺窗口你们是怎么调整炉温的 [复制链接]

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2021-06-23
只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主  发表于: 2022-01-14
如图
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离线xuxiaoxia3
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2018-12-27
只看该作者 沙发  发表于: 2022-01-14
超时了炉温设定不合理
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2018-05-14
只看该作者 藤椅  发表于: 2022-01-14
你这炉温设定是认真的吗?如果真是这样设定的那这炉温就很不合理了。
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2021-06-23
只看该作者 板凳  发表于: 2022-01-14
回 哈哈哈哈哈嗝 的帖子
哈哈哈哈哈嗝:你这炉温设定是认真的吗?如果真是这样设定的那这炉温就很不合理了。 (2022-01-14 14:40) 

是的,半导体行业,就是要求这个工艺来设定炉温。
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2021-06-23
只看该作者 报纸  发表于: 2022-01-14
回 xuxiaoxia3 的帖子
xuxiaoxia3:超时了炉温设定不合理 (2022-01-14 14:38) 

这个工艺要求互相束缚很大,炉温很难调。
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2021-06-23
只看该作者 地板  发表于: 2022-01-14
这是用lucunda炉温测试仪软件优化后的结果,对于我们这种工艺及其复杂的炉温很有帮助,人工调炉温太费脑子和时间了。
离线禄存科技
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2020-05-25
只看该作者 地下室  发表于: 2022-01-15
只能自动优化软件才能调整炉温
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2010-09-13
只看该作者 7楼 发表于: 2022-01-17
实际测试的值走了与规定的工艺参考值的上限,可以考录走一下下限。
离线soldierh
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2012-12-06
只看该作者 8楼 发表于: 2022-01-19
这个炉温,链速加快点
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2012-09-24
只看该作者 9楼 发表于: 2022-01-19
自动优化软件调整炉温是未来的趋势。