[求助]NXT3 2M基座真空压力异常。 [复制链接]

前几天夜班时候4点多模组拉推回去传感器报警，段长折腾到六点多厂家技术人员打电话才处理好，结果出理后发现真空异常了。故障描述为，每次停机后启动，真空值上升很慢，然后都要真空值报一次警报，清楚故障后再开，它就能达到警报值以上，能够正常生产，而且不贴料的时候真空值能到-95，和其它设备值大致系统，正常贴料的时候会降到负九十左右徘徊。
请问下有没有同行遇到过此类问题，我把模组前端底下的根长度80mm左右的真空管更换了，但是没有改善。请问还有别的会导致真空泄漏的地方么？

进气前的真空过滤器看一下，是堵住了还是已经损坏了，如果水汽太大了，时间长了就会有这样的问题。

mmg935:进气前的真空过滤器看一下，是堵住了还是已经损坏了，如果水汽太大了，时间长了就会有这样的问题。 (2024-03-16 12:07) 

前天观察了下，是启动的时候真空泵启动困难，看它散热风扇是一转一停的，真空泵都是抖动状态，不知道怎么回事，我把真空泵把手的盖子拆下来，用手转动风扇，感觉阻力不算很大。第一怀疑对象是不是缺相了，第二感觉又像是真空泵的无刷电机是不是霍尔传感器损坏了，导致它启动困难。